-
Vipuri vya Kauri kwa Vifaa vya Kichunguzi cha Semiconductor
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Kibebaji cha Vifaa vya Semiconductor cha Bamba la Kauri
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Vifaa vya Semiconductor Vipuri vya Kauri
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Pete ya Muhuri ya Kauri ya Alumina ya Usafi wa Juu kwa Muhuri wa Chumba cha Joto la Juu
Pete ya muhuri ya kauri ya St.Cera imeundwa kama mbadala wa pete za O-polima katika mazingira magumu ambapo elastomu huharibika. Imetengenezwa kutoka kwa alumina ya usafi wa juu ya 99.8% (Al₂O₃), pete hii ngumu ya muhuri hutumika katika matumizi ya muhuri tuli - kwa kawaida huunganishwa na gasket ya chuma laini au grafiti - ili kutoa utupu wa kuaminika au kizuizi cha gesi kwenye halijoto hadi 800°C na katika mazingira ya plasma au kemikali kali. Nyenzo hii haitoi gesi, nguvu ya juu ya mgandamizo (nguvu ya msingi ya kunyumbulika 361 MPa), na uimara wa kemikali (inakabiliwa na halojeni, asidi, na alkali isipokuwa HF). Nyuso za muhuri zilizounganishwa kwa usahihi (ubapa ≤5 μm, ukali wa uso Ra ≤0.2 μm) huhakikisha mguso mkali wa uvujaji na vipengele vya chuma au kauri vinavyooana.
-
Pete ya Kuzingatia Chumba cha Alumina cha Usafi wa Juu kwa Mifumo ya Plasma Etch & CVD
Pete ya kulenga chumba cha St.Cera ni sehemu muhimu ya vifaa vya mchakato vinavyotumika katika vifaa vya semiconductor vya plasma etch, CVD, na PVD. Imetengenezwa kwa alumina ya usafi wa juu ya 99.8% (Al₂O₃), pete hiyo huzunguka ukingo wa wafer ili kuzuia plasma na kuboresha usambazaji wa pembe za ioni, na hivyo kuboresha usawa wa etch kwenye uso wa wafer. Nyenzo hii hutoa upinzani wa kipekee wa plasma, nguvu ya juu ya dielectric (15×10⁶ V/m), na utulivu wa joto hadi 1600°C, kuhakikisha uaminifu wa muda mrefu katika mazingira ya plasma yenye florini au klorini. Kitambulisho/OD cha kusaga kwa usahihi na ulalo (≤10 μm) huwezesha uwekaji sahihi wa ukingo wa wafer, kupunguza kasoro za ukingo na uzalishaji wa chembe.
-
Pete ya Kauri ya Alumina ya Usafi wa Juu kwa Vyumba vya Mchakato vya CVD / PVD
Pete ya kauri ya St.Cera imeundwa mahsusi kwa ajili ya matumizi katika vyumba vya mchakato vya CVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali) na PVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kimwili). Imetengenezwa kwa alumina ya 99.8% ya usafi wa juu (Al₂O₃), pete hii hutumika kama mjengo wa chumba, pete ya kuzingatia, au sehemu ya vifaa vya mchakato ili kuzuia plasma na kulinda kuta za chumba kutokana na mmomonyoko. Nyenzo hii hutoa upinzani bora wa plasma, nguvu ya juu ya dielectric (15×10⁶ V/m), na utulivu wa joto hadi 1600°C, kuhakikisha maisha marefu ya huduma katika mazingira ya plasma yenye florini kali. Uvumilivu sahihi wa vipimo (± 0.05 mm kwenye ID/OD) na ulalo (≤10 μm) huwezesha uwekaji thabiti wa ukingo wa wafer, kuboresha usawa wa uwekaji na kupunguza uzalishaji wa chembe.
-
Kifaa cha Kutuliza Kauri cha Bernoulli — Ushughulikiaji wa Kafu Isiyogusana kwa Kafu Nyembamba na Tete
Kifaa cha mwisho cha kauri cha Bernoulli cha St.Cera hutumia kiinua hewa ili kushughulikia wafer bila kugusana kimwili. Kimetengenezwa kwa alumina ya 99.8% (Al₂O₃) au kabidi ya silikoni (SiC) yenye usafi wa hali ya juu, kina nozeli za usahihi zinazotoa gesi iliyoshinikizwa ili kuunda filamu nyembamba ya hewa kati ya kifaa cha mwisho na wafer. Kanuni hii isiyogusa huondoa uchafuzi wa upande wa nyuma, kupasuka kwa kingo, na uharibifu wa uso, na kuifanya iwe bora kwa wafer nyembamba (≤100 μm), dhaifu, au zilizopinda. Sehemu ya chini ya kauri hutoa nguvu ya juu ya kunyumbulika (361 MPa kwa Al₂O₃; hadi 550–600 MPa kwa SiC), uzito mdogo, na uthabiti bora wa vipimo, kuhakikisha nafasi inayoweza kurudiwa katika roboti za uhamisho wa wafer za kasi ya juu.
-
Sehemu za Kauri za Alumina zenye Usafi wa Juu kwa Matumizi ya Semiconductor na Viwanda
St.Cera hutengeneza sehemu za kauri za alumina iliyotengenezwa kwa usahihi (Al₂O₃) kulingana na vipimo vya mteja. Kwa kutumia alumina ya usafi wa hali ya juu ya 99.8%, vipengele hivi hutoa nguvu bora ya kunyumbulika (361 MPa), ugumu wa hali ya juu (16 GPa), na nguvu bora ya dielectric (15×10⁶ V/m). Imeundwa kwa ajili ya vifaa vya nusu-semiconductor, mikusanyiko inayostahimili uchakavu, vihami umeme, na vifaa vya hali ya juu ya joto, nyenzo hii hutoa unyonyaji wa maji karibu sifuri (0%) na mgawo wa upanuzi wa joto wa 7.2×10⁻⁶/℃, kuhakikisha uthabiti wa vipimo chini ya hali mbaya.
-
Chuki ya Kauri ya Kusafisha Vinyweleo kwa Ushughulikiaji wa Wafer Iliyopotoshwa
Chupa ya kauri yenye vinyweleo vya St.Cera imetengenezwa kwa alumina yenye usafi wa hali ya juu yenye vinyweleo wazi vya 30–45% na ukubwa wa vinyweleo kuanzia μm 10 hadi 100. Tofauti na vinyweleo vya kawaida vyenye miiba, uso wenye vinyweleo hutoa utupu uliosambazwa kote upande mzima wa nyuma wa wafer, ukishikilia kwa ufanisi wa wafer zilizopinda, nyembamba, au zilizochongoka bila kuinuliwa au kuvunjika kwa ukingo. Utupu mpole (unaoweza kurekebishwa kupitia kizuizi) pia huzuia alama za upande wa nyuma.
-
Chuki ya Kauri ya Kusafisha Kauri Yenye Vinyweleo vya Alumina kwa Ushughulikiaji wa Kaki Nyembamba
Chupa yenye vinyweleo yenye msingi wa alumina ya St.Cera imetengenezwa kutoka kwa Al₂O₃ yenye usafi wa hali ya juu ya 99.6% yenye vinyweleo vilivyo wazi vilivyodhibitiwa vya 30–45% na ukubwa sawa wa vinyweleo kuanzia 10 hadi 50 μm. Tofauti na vinyweleo vyenye miiba, uso wenye vinyweleo hutoa utupu uliosambazwa kwenye sehemu nzima ya nyuma ya wafer, ikiondoa alama ya ukingo na kuwezesha kushikilia kwa upole wa wafer nyembamba sana (≤100 μm) au zilizopinda. Nyenzo hii hutoa nguvu ya kunyumbulika ≥250 MPa na utulivu wa joto hadi 400°C hewani.
-
Bamba la Usambazaji wa Gesi ya Alumina kwa Kichwa cha Shower cha CVD/PVD
Sahani ya usambazaji wa gesi ya St.Cera (kichwa cha kuogea) imetengenezwa kwa usahihi kutoka kwa kauri ya alumina ya 99.8% yenye usafi wa hali ya juu. Ina safu ya mashimo madogo (kipenyo cha 0.3–1.5 mm) ambayo huhakikisha mtiririko wa gesi sare kwenye uso wa wafer wakati wa michakato ya CVD, PVD, au ALD. Nguvu ya juu ya dielektriki ya sahani (>15×10⁶ V/m) na upinzani wa plasma hufanya iwe muhimu kwa uwekaji wa filamu nyembamba ya semiconductor.
-
Pini ya Kusaidia Kauri kwa Mifumo ya Semiconductor
Pini za kutegemeza za kauri za St.Cera (pia zinajulikana kama pini za kuinua au pini za kutegemeza) hutumika katika vyumba vya mchakato wa nusu nusu ili kuinua wafers au substrates wakati wa kushughulikia, kupasha joto, au kupoeza. Zimetengenezwa kwa alumina 99.8% au nitridi ya silikoni, pini hizi hutoa nguvu ya juu ya kubana, uthabiti wa joto, na upinzani wa kemikali. Muundo wa ncha ya hemispherical au tambarare huzuia wafer kukwaruza.
