Pini ya Kusaidia Kauri kwa Mifumo ya Semiconductor
Pini za kutegemeza za kauri za St.Cera (pia zinajulikana kama pini za kuinua au pini za kutegemeza) hutumika katika vyumba vya mchakato wa nusu nusu ili kuinua wafers au substrates wakati wa kushughulikia, kupasha joto, au kupoeza. Zimetengenezwa kwa alumina 99.8% au nitridi ya silikoni, pini hizi hutoa nguvu ya juu ya kubana, uthabiti wa joto, na upinzani wa kemikali. Muundo wa ncha ya hemispherical au tambarare huzuia wafer kukwaruza.
Vipimo(Alumina 99.8%):
| Mali | Thamani |
| Nyenzo | 99.8% Al₂O₃ au Si₃N₄ |
| Urefu | 10 - 100 mm |
| Kipenyo | 1 - 10 mm |
| Umbo la Ncha | Bapa, ya pande zote mbili, iliyochongoka |
| Nguvu ya Kukandamiza (Al₂O₃) | >MPa 2000 |
| Halijoto ya Juu Zaidi ya Uendeshaji (Al₂O₃) | 1600°C |
| Kumaliza Uso | Imezungushwa (Ra ≤0.4 μm) |
| Uvumilivu kwa Kipenyo | ± 0.01 mm |
Maombi:
Pini za kuinua katika vyumba vya CVD/PVD
Pini za usaidizi kwa ajili ya kuoka kwenye sahani ya moto
Miundo ya usaidizi wa kadi ya uchunguzi
Mashua ya tanuru ya Quartz inasaidia
Utengenezaji:
Kusaga kwa usahihi bila kitovu cha OD → kusaga kwa almasi kwa wasifu wa ncha → kusafisha kwa ultrasonic → ukaguzi wa vipimo 100%.
Udhibiti wa Ubora:
CMM kwa urefu/kipenyo, kilinganishi cha macho kwa radius ya ncha, upimaji wa mzigo ili kuthibitisha nguvu ya mgandamizo (sampuli ya nasibu kwa kila fungu). Hakuna uchafuzi wa ferrosumaku (imethibitishwa na sumaku).
Faida zaidi ya Pini za Chuma au Quartz:
Muda mrefu mara 5 kuliko chuma cha pua
Hakuna uchafuzi wa chuma kwenye chumba cha mchakato
Uwezo wa halijoto ya juu zaidi kuliko quartz (1600°C dhidi ya 1100°C)
Uso usioshikamana (kupunguzwa kwa mshikamano wa chembe)
Ubinafsishaji:
Profaili nyingi za ncha, msingi wenye nyuzi, au shimoni iliyopunguzwa.
Pia tunasambaza pini za SiC kwa mazingira ya plasma yaliyokithiri.
