Bamba la Usambazaji wa Gesi ya Alumina kwa Kichwa cha Shower cha CVD/PVD
Sahani ya usambazaji wa gesi ya St.Cera (kichwa cha kuogea) imetengenezwa kwa usahihi kutoka kwa kauri ya alumina ya 99.8% yenye usafi wa hali ya juu. Ina safu ya mashimo madogo (kipenyo cha 0.3–1.5 mm) ambayo huhakikisha mtiririko wa gesi sare kwenye uso wa wafer wakati wa michakato ya CVD, PVD, au ALD. Nguvu ya juu ya dielektriki ya sahani (>15×10⁶ V/m) na upinzani wa plasma hufanya iwe muhimu kwa uwekaji wa filamu nyembamba ya semiconductor.
Vipimo:
| Mali | Thamani |
| Nyenzo | 99.8% Al₂O₃ au SiC |
| Kipenyo | 100 - 1500mm (mviringo) au mstatili |
| Unene | 5 - 20 mm |
| Kipenyo cha Shimo | 0.3 – 1.5 mm |
| Muundo wa Shimo | Maalum (pembetatu, mraba, radial) |
| Ulalo | ≤10 μm juu ya eneo lote |
| Ukali wa Uso | Ra ≤0.6 μm (upande wa gesi) |
| Uwiano wa Eneo Huria | 5–15% |
Maombi:
Sahani za kuogea za PECVD
Sindano za gesi za ALD
Sahani za usambazaji wa gesi kwenye chumba cha kuchomoa
Vipengele vya kiakiolojia cha MOCVD
Utengenezaji:
Sehemu ya chini ya alumina iliyopinda tambarare → Kuchimba visima kwa kutumia vifaa vilivyofunikwa na almasi (uvumilivu wa nafasi ya shimo ± 0.02 mm) → kuondoa chembe chembe → kusafisha kwa kutumia ultrasonic → Kifungashio cha Darasa la 100.
Udhibiti wa Ubora:
Kila bamba hukaguliwa 100% kwa ukubwa wa shimo (mfumo wa kuona), uwazi (kipima-kati cha leza), na usawa wa mtiririko wa gesi (ramani ya shinikizo). Hakuna nyufa ndogo chini ya darubini mara 20.
Faida zaidi ya Sahani za Chuma:
Hakuna uchafuzi wa metali katika filamu nyembamba
Uzalishaji mdogo wa chembe (hakuna vipande vya kutu)
Hustahimili plasma za kusafisha kwa nguvu (CF₄, NF₃)
Vipengele Maalum:
Njia za gesi za upande wa nyuma, mashimo yanayoweza kuchomwa, mihuri ya pembeni, na daraja tofauti za nyenzo (SiC kwa upitishaji joto wa juu, mipako ya Y₂O₃ kwa upinzani wa plasma).
Tunatoa uthibitishaji wa CAD na simulizi ya mtiririko kabla ya utengenezaji.
