Kifaa cha Kumaliza Kauri Kilichofunikwa na Teflon – Sehemu Isiyoshikamana kwa Ushughulikiaji wa Kaki Nyeti
Kifaa cha mwisho cha kauri kilichofunikwa na Teflon (PTFE) cha St.Cera huchanganya sehemu ya chini ya alumina yenye nguvu nyingi na mipako ya PTFE yenye msuguano mdogo (unene wa 15–30 μm). Mipako hutoa mgawo mdogo sana wa msuguano (≤0.1), upinzani bora wa kemikali, na sifa zisizoshikamana, kuzuia kushikamana kwa wafer na kuondoa uchafuzi wa upande wa nyuma. Sehemu ya chini ya kauri (99.8% Al₂O₃) hutoa nguvu ya juu ya kunyumbulika (361–1000 MPa), upinzani wa uchakavu, na utulivu wa joto hadi 260°C (kikomo cha mipako). Kifaa hiki cha mwisho ni bora kwa kushughulikia wafers laini, nyembamba, au zinazonata (km, baada ya mipako ya upolimishaji au michakato ya kemikali).
Vipimo (kulingana na substrate ya 99.8% Al₂O₃ yenye mipako ya PTFE):
| Mali | Thamani |
| Nyenzo ya Substrate | 99.8% Alumina (Pembe za Ndovu) |
| Nyenzo ya Kupaka | PTFE (Teflon) |
| Unene wa mipako | 15–30 μm |
| Mgawo wa Msuguano (Umefunikwa) | ≤0.1 |
| Nguvu ya Kunyumbulika ya Substrate (Al₂O₃) | MPa 361 |
| Ugumu wa Substrate (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Uzito wa Substrate | 3.93 g/cm³ |
| Halijoto ya Juu Zaidi ya Uendeshaji (kikomo cha mipako) | 260°C |
| Ukali wa Uso (kabla ya mipako) | Ra ≤0.4 μm |
| Nguvu ya Dielektri (substrate) | 15×10⁶ V/m |
Kumbuka: Mipako ya PTFE hupunguza halijoto ya juu hadi 260°C; kwa matumizi ya halijoto ya juu, fikiria mipako ya kauri isiyofunikwa au mingine.
Maombi:
- · Kushughulikia wafers baada ya mipako ya kustahimili mwanga (nyuso zinazonata)
- · Uhamisho wa wafers nyembamba au dhaifu (huzuia kushikamana)
- · Ukaguzi wa semiconductor na zana za upimaji
- · Otomatiki ya chumba cha usafi ambapo uchafuzi wa chembe lazima upunguzwe
Mchakato wa Uzalishaji:
Sehemu ya kauri iliyochomwa na kusagwa kwa usahihi → Kusaga uso (kuchoma kwa plasma au mlipuko wa grit) → Mipako ya kunyunyizia ya PTFE → Kupoza joto kwa 380°C → ukaguzi wa mwisho. Kila kichocheo cha mwisho huangaliwa kwa unene wa mipako (mkondo wa eddy), mshikamano (jaribio la kukata-mtambuka ASTM D3359), na mgawo wa msuguano.
Udhibiti wa Ubora:
Ukaguzi wa kuona wa 100% kwa mashimo ya pini au viputo; unene wa mipako sare ndani ya ±5 μm; hakuna utenganishaji baada ya jaribio la kupinda kwa 90° kwenye kuponi ya shahidi. Ukaguzi wa vipimo kwa uvumilivu wa OEM (urefu ± 0.05 mm, ulalo ≤0.1 mm).
Faida zaidi ya Mipako Isiyofunikwa au Mipako Mingine:
- · Sehemu isiyoshikamana huzuia kushikamana na kuvunjika kwa wafer
- · Mgawo mdogo zaidi wa msuguano kati ya mipako ya kauri
- · Upinzani bora wa kemikali (asidi, besi, miyeyusho)
- · Hupunguza uzalishaji wa chembe kwa kuzuia uhamishaji wa nyenzo
Mapungufu (maelezo kuhusu kupotoka kwa nyenzo):
Mipako ya PTFE haitokani na majedwali ya sifa za nyenzo yaliyotolewa (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Sifa za msingi hufuata kwa makini karatasi ya data iliyotolewa (99.8% Al₂O₃). Sifa za mipako zinategemea vipimo vya PTFE vya kiwango cha tasnia, kwani hakuna data ya mipako iliyotolewa. Kwa matumizi yanayozidi 260°C, kichocheo cha mwisho cha kauri kisichofunikwa kinapendekezwa.*
Ubinafsishaji:
Inapatikana kwa urefu wa milimita 150–1500, maumbo ya ncha (mshikamano wa kingo, Bernoulli, tambarare), mifumo ya flange ya kupachika kwa kila mchoro wa OEM. Mipako ya sehemu (maeneo ya mguso pekee) au kifuniko kamili ni hiari.
Omba sampuli kwa ajili ya kupima mshikamano na msuguano.
