Kifaa cha Kutuliza Kauri cha Bernoulli — Ushughulikiaji wa Kafu Isiyogusana kwa Kafu Nyembamba na Tete

Kifaa cha mwisho cha kauri cha Bernoulli cha St.Cera hutumia kiinua hewa ili kushughulikia wafer bila kugusana kimwili. Kimetengenezwa kwa alumina ya 99.8% (Al₂O₃) au kabidi ya silikoni (SiC) yenye usafi wa hali ya juu, kina nozeli za usahihi zinazotoa gesi iliyoshinikizwa ili kuunda filamu nyembamba ya hewa kati ya kifaa cha mwisho na wafer. Kanuni hii isiyogusa huondoa uchafuzi wa upande wa nyuma, kupasuka kwa kingo, na uharibifu wa uso, na kuifanya iwe bora kwa wafer nyembamba (≤100 μm), dhaifu, au zilizopinda. Sehemu ya chini ya kauri hutoa nguvu ya juu ya kunyumbulika (361 MPa kwa Al₂O₃; hadi 550–600 MPa kwa SiC), uzito mdogo, na uthabiti bora wa vipimo, kuhakikisha nafasi inayoweza kurudiwa katika roboti za uhamisho wa wafer za kasi ya juu.

Dokezo kuhusu Nyenzo:Alumina (Al₂O₃) ndiyo nyenzo inayotumika sana kwa vichocheo vya mwisho vya kauri katika utunzaji wa wafer wa nusu-semiconductor kutokana na mchanganyiko wake bora wa ugumu, insulation ya umeme, uthabiti wa kemikali, na ufanisi wa gharama. Kabidi ya silicon (SiC) hutoa upitishaji wa juu wa joto, ugumu wa juu, na upinzani bora zaidi wa kuvaa kwa matumizi yanayohitaji sana. Ingawa zirconia iliyoimarishwa na yttria (ZrO₂) hutoa uthabiti wa juu wa kuvunjika kwenye joto la kawaida, haitumiki sana katika matumizi haya kutokana na msongamano wake wa juu na sifa tofauti za upanuzi wa joto; inaweza kuzingatiwa kwa hali maalum ambapo uthabiti wa kipekee wa kuvunjika unahitajika. Tafadhali wasiliana na timu yetu ya kiufundi kwa mwongozo wa uteuzi wa nyenzo.

Vipimo(kulingana na 99.8% Al₂O₃):

Kanuni ya Uendeshaji:

Hewa iliyobanwa au nitrojeni (0.2–0.6 MPa) hutolewa kupitia njia za ndani na kutoka kupitia pua za usahihi. Mtiririko wa hewa ulioharakishwa huunda eneo la shinikizo la chini juu ya kichocheo cha mwisho (athari ya Bernoulli), na kutoa nguvu ya kuinua inayounga mkono wafer kwenye pengo la 50–200 μm. Hakuna mashimo au pedi za utupu zinazogusa upande wa nyuma wa wafer.

Maombi:

• · Ushughulikiaji wa wafer nyembamba (≤50 μm) baada ya kusaga upande wa nyuma
• · Usafirishaji wa wafer uliopinda (km, baada ya CVD au annealing)
• · Uhamisho wa substrate ya seli za jua na yakuti ya LED
• · Otomatiki ya chumba cha usafi inayohitaji uzalishaji wa chembe sifuri
• · Utengenezaji wa paneli za kioo kwenye maonyesho

Mchakato wa Uzalishaji:

Sehemu ya kauri iliyochomwa kutoka kwa unga wa usafi wa hali ya juu → Uchakataji wa CNC wa mhimili 5 wa njia za gesi na mashimo ya pua (kipenyo 0.3–1.0 mm, uvumilivu ± 0.01 mm) → ulalo wa uso hadi Ra ≤0.4 μm → usafi wa ultrasonic → jaribio la uvujaji wa heliamu (njia za gesi). Hakuna mipako inayohitajika — uso wa kauri tupu hauna kemikali na hauchafui.

Udhibiti wa Ubora:

• · Ukaguzi wa vipimo 100% (CMM) wa nafasi za pua, urefu wa mkono, na ulaini
• · Jaribio la usawa wa mtiririko wa hewa: kushuka kwa shinikizo ≤5% kwenye nozeli zote
• · Jaribio la uvujaji: njia za gesi zilizofungwa kwa 0.6 MPa, hakuna kushuka kwa shinikizo kwa sekunde 30
• · Ukaguzi wa kuona chini ya darubini ya 20× kwa nyufa ndogo au vipele

Afaida zaidi ya Viathiri vya Mwisho vya Mguso wa Kawaida:

• · Hakuna uchafuzi wa mgongo wa wafer — hakuna mguso wa mitambo
• · Hakuna kukatika kwa makali au kuvunjika kwa wafers nyembamba
• · Hushughulikia wafers zilizopinda (hadi upinde wa milimita 1) zenye nafasi thabiti
• · Huondoa jenereta ya utupu na matengenezo ya chuck yenye vinyweleo
• · Ujenzi wa kauri hustahimili uchakavu na mashambulizi ya kemikali

Ubinafsishaji:

• · Inapatikana kwa ukubwa wa milimita 200, milimita 300, au saizi maalum za wafer
• · Mifumo ya pua za gesi: aina za mnyoofu, zenye pembe, au za mtetemo
• · Vifaa: alumina (kawaida) au kabidi ya silikoni (kwa upitishaji wa joto la juu zaidi na upinzani wa uchakavu)
• · Urefu wa mkono, flange ya kupachika, na eneo la mlango wa gesi kwa kila mchoro wa OEM

Mapungufu:

Utekelezaji wa kanuni ya Bernoulli (muundo wa pua, pengo la hewa) uko nje ya upeo wa jedwali la sifa za nyenzo zilizotolewa. Sifa za kiufundi na joto zilizo hapo juu zinafuata kwa ukamilifu karatasi za data zilizotolewa za 99.8% Al₂O₃. Hakuna uharibifu wa utendaji wa kauri chini ya mtiririko wa gesi ulioshinikizwa unaotarajiwa kulingana na sifa hizi za nyenzo. Kwa wafers nyeti kwa mtiririko wa gesi (km, MEMS zenye miundo dhaifu), muundo wa shinikizo la gesi na pua unapaswa kurekebishwa ipasavyo.