-
Sehemu za Kauri za Alumina zenye Usahihi wa Juu
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Vifaa vya Semiconductor vilivyobinafsishwa vya ST.CERA Chucks za Kauri
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Kichocheo cha Mwisho cha Kauri cha Silicon Carbide (SiC) – Ugumu wa Juu kwa Ushughulikiaji wa Kaki ya Joto la Juu
Kifaa cha mwisho cha kauri cha St.Cera's SiC kimetengenezwa kwa kabidi ya silikoni yenye usafi wa hali ya juu (kiwango cha SiC ni 99.72%, Si huru ni 0.05%) kwa kutumia nyenzo ya kundi la S1111. Kinatoa sifa za kipekee za kiufundi: nguvu ya kunyumbulika 449 MPa (iliyopimwa), moduli ya elastic 457 GPa (iliyopimwa), na ugumu wa Vickers 25–28 GPa (kawaida). Msongamano wa chini (3.10–3.15 g/cm³, kawaida) hutoa ugumu maalum wa hali ya juu, bora kwa roboti za uhamishaji wa wafer wa kasi ya juu. Kwa upitishaji joto wa 120–150 W/m·K (kawaida) na mgawo wa upanuzi wa joto wa 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (kawaida), kifaa hiki cha mwisho huondoa joto kwa ufanisi na hudumisha uthabiti wa vipimo wakati wa utunzaji wa hali ya juu (hadi 1600–1700°C, hakuna mzigo). Rangi nyeusi/kijivu na unyonyaji sifuri wa maji huhakikisha utangamano wa chumba safi.
-
Chuki ya Vuta Inayotegemea Silikoni (SiC) kwa Mazingira ya Joto la Juu na Plasma
Chupa ya kauri ya St.Cera's SiC imetengenezwa kwa kabidi ya silikoni yenye usafi wa hali ya juu (kundi la S1111, SiC 99.72%, Si huru 0.05%). Inatoa nguvu ya kunyumbulika iliyopimwa ya MPa 449, uthabiti wa kuvunjika kwa MPa·m¹/² 3.12, na moduli ya elastic ya GPa 457. Upitishaji joto wa kawaida wa nyenzo (120–150 W/m·K) na upanuzi mdogo wa joto (4.0–4.5×10⁻⁶/℃) huwezesha kuongezeka kwa joto haraka na kupotosha kwa wafer wakati wa mzunguko wa joto. Chupa inaweza kusanidiwa kama chupa ya utupu yenye vinyweleo (mtiririko wa gesi sare) au chupa ya kawaida yenye miiba. Kwa halijoto ya juu ya matumizi ya 1600–1700°C (hakuna mzigo) na upinzani wa kipekee wa mmomonyoko wa plasma, chupa hii ni bora kwa usindikaji wa wafer wa hali ya juu (annealing, RTP) na vyumba vya etch vya ukali ambapo chupa za alumina huharibika.
-
Vifaa vya Semiconductor Vipuri vya Kauri Vibebaji vya Kauri
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Pete ya Kusaga ya Alumina Kauri Yenye Umbo la Chuma kwa Matumizi ya Kuunganisha kwa Ugumu wa Juu
Pete ya kusaga ya alumina inayotokana na chuma ya St.Cera inachanganya safu ya uchakavu wa kauri ya alumina yenye usafi wa hali ya juu (99.8% Al₂O₃) yenye sehemu ya chuma iliyotengenezwa kwa usahihi (kawaida alumini au chuma cha pua). Muundo huu mseto hutoa upinzani wa kipekee wa uchakavu na uchakavu wa kemikali wa kauri kwenye uso wa kusaga, huku msingi wa chuma ukiongeza nguvu ya kiufundi, urahisi wa kuweka, na upinzani dhidi ya kuvunjika kwa kuvunjika. Safu ya alumina hutoa nguvu ya kunyumbulika ya MPa 361, ugumu wa Vickers wa GPa 16, na utulivu wa joto hadi 800°C. Msingi wa chuma umebinafsishwa kwa mashimo ya kupachika, pini za kupata, au sifa za sumaku kwa ajili ya kuunganishwa katika mashine za kusaga, visagaji vya sayari, na vifaa vya CMP.
-
Vipuri vya Kauri kwa Vifaa vya Kituo cha Kichunguzi cha Semiconductor
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Usindikaji Maalum wa Al2O3 Ceramic Wafer Chuck
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Bamba la Kauri la Vifaa vya Semiconductor Vilivyobinafsishwa vya ST.CERA
Imeundwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi na kuchomwa chini ya halijoto ya juu, kisha kutengenezwa kwa usahihi na kung'arishwa, vipuri vya kauri vinaweza kukidhi mahitaji yoyote makali ya vifaa vya semiconductor pamoja na sifa zake za upinzani wa uchakavu, upinzani wa kutu, upanuzi mdogo wa joto, na insulation. Kauri zinaweza kufanya kazi katika aina nyingi za vifaa vya uzalishaji wa semiconductor vyenye hali ya joto ya juu, gesi ya utupu au babuzi kwa muda mrefu.
Imetengenezwa kwa unga wa alumina wenye usafi wa hali ya juu, iliyosindikwa kwa kubonyeza kwa isostatic baridi, kuchomwa kwa joto la juu na umaliziaji wa usahihi, inaweza kufikia uvumilivu wa vipimo hadi ± 0.001 mm, umaliziaji wa uso Ra 0.1, upinzani wa joto 1600℃.
-
Chuki ya Kusafisha Alumina ya Inchi 12 kwa Usindikaji wa Kafe ya 300mm
Chupa ya utupu ya St.Cera ya inchi 12 imetengenezwa kwa usahihi kutoka kwa alumina ya usafi wa juu ya 99.8% (Al₂O₃) kwa ajili ya utunzaji wa wafer wa 300mm. Chupa ina uso uliopakwa vizuri (upana wa groove 0.5–1.0 mm, lami 2–3 mm) ili kuhakikisha usambazaji sawa wa utupu katika kipenyo chote cha 300mm. Ulalo hudumishwa ndani ya μm 5, na kuwezesha uwekaji wa wafer usio na mkunjo wakati wa kukata vipande, kusaga upande wa nyuma, na ukaguzi. Nguvu ya juu ya kunyumbulika ya nyenzo (361 MPa) na ugumu (16 GPa) huhakikisha uthabiti wa vipimo vya muda mrefu hata chini ya mizunguko ya utupu inayorudiwa.
-
Kifaa cha Kumaliza cha Kauri cha Alumina chenye Njia Jumuishi za Vuta
Kifaa cha kutolea utupu cha alumina cha St.Cera huunganisha njia za utupu zilizotengenezwa kwa usahihi na mashimo ya kufyonza moja kwa moja kwenye mwili wa alumina wa usafi wa juu wa 99.8%. Muundo huu huondoa pedi za utupu za nje, na kuwezesha uchukuaji wa wafer moja kwa moja kwa nguvu sawa ya kushikilia. Nguvu ya juu ya kunyumbulika ya nyenzo (361 MPa) na ugumu (16 GPa) huhakikisha uthabiti wa vipimo vya muda mrefu chini ya mizunguko ya utupu inayorudiwa. Ulalo katika eneo la pedi hudumishwa ndani ya 10 μm, kuzuia mkazo wa wafer na kuvunjika. Milango ya utupu iko kwenye flange ya nyuma ya kupachika kwa urahisi na mikono ya roboti ya OEM.
-
Sehemu za Kauri za Alumina Salama za ESD kwa Ushughulikiaji wa Kaki Tuli Nyeti
Sehemu za kauri za alumina salama za St.Cera's ESD (electrostatic discharge) hutengenezwa kutoka kwa 99.8% ya usafi wa juu wa Al₂O₃ zenye upinzani wa uso ulioundwa maalum wa 10⁶–10⁹ Ω/mraba, unaopatikana kupitia mchakato wa kipekee wa doping au mipako. Sehemu hizi huondoa kwa ufanisi chaji tuli, na kuzuia uharibifu wa umeme tuli kwa wafers na vifaa nyeti vya semiconductor. Nyenzo ya msingi huhifadhi nguvu yake ya juu ya kunyumbulika (361 MPa), ugumu (16 GPa), na nguvu ya dielectric (15×10⁶ V/m). Sehemu za kauri salama za ESD ni pamoja na vitendaji vya mwisho, pini za kuinua, reli za mwongozo, na vifaa maalum kwa ajili ya otomatiki ya FAB.
