Chuki ya Kusafisha Alumina ya Inchi 12 kwa Usindikaji wa Kafe ya 300mm
Chupa ya utupu ya St.Cera ya inchi 12 imetengenezwa kwa usahihi kutoka kwa alumina ya usafi wa juu ya 99.8% (Al₂O₃) kwa ajili ya utunzaji wa wafer wa 300mm. Chupa ina uso uliopakwa vizuri (upana wa groove 0.5–1.0 mm, lami 2–3 mm) ili kuhakikisha usambazaji sawa wa utupu katika kipenyo chote cha 300mm. Ulalo hudumishwa ndani ya μm 5, na kuwezesha uwekaji wa wafer usio na mkunjo wakati wa kukata vipande, kusaga upande wa nyuma, na ukaguzi. Nguvu ya juu ya kunyumbulika ya nyenzo (361 MPa) na ugumu (16 GPa) huhakikisha uthabiti wa vipimo vya muda mrefu hata chini ya mizunguko ya utupu inayorudiwa.
Vipimo (kulingana na 99.8% Al₂O₃):
| Mali | Thamani |
| Kipenyo | 300 mm (inchi 12) |
| Nyenzo | 99.8% Alumina (Pembe za Ndovu) |
| Uzito | 3.93 g/cm³ |
| Nguvu ya Kunyumbulika | MPa 361 |
| Ugumu wa Vickers | 16 GPa |
| Upana (zaidi ya 300mm) | ≤5 μm |
| Upana wa Groove | 0.5–1.0 mm |
| Halijoto ya Juu Zaidi ya Uendeshaji | 800°C |
| Nguvu ya Dielektri | 15×10⁶ V/m |
Maombi:
Kukata vipande vya wafer vya 300mm na kuchorea
Kusaga upande wa nyuma wa wafer (kifaa chembamba cha wafer)
Ukaguzi na uchunguzi wa macho
Vifungo vya muda vya kuunganisha/kuondoa vifungo
Utengenezaji:
CNC imesagwa na kuunganishwa hadi iwe tambarare ya mwisho, imepakwa magurudumu ya almasi, imesafishwa kwa ultrasonic, na kufungwa katika chumba safi cha Daraja la 100. Kila chuck hukaguliwa 100% kwa utambarare (interferometer ya leza) na kina cha mfereji (profilometer).
Faida:
Uzalishaji mdogo wa chembe (≤0.05 chembe/cm²)
Haina kemikali kwa vimumunyisho na asidi
Uso salama wa ESD (upinzani >10¹³ Ω·cm)
Mifumo maalum ya mashimo ya utupu na milango ya nyuma inapatikana.
