Pete ya Kauri ya Alumina ya Usafi wa Juu kwa Vyumba vya Mchakato vya CVD / PVD
Pete ya kauri ya St.Cera imeundwa mahsusi kwa ajili ya matumizi katika vyumba vya mchakato vya CVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali) na PVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kimwili). Imetengenezwa kwa alumina ya 99.8% ya usafi wa juu (Al₂O₃), pete hii hutumika kama mjengo wa chumba, pete ya kuzingatia, au sehemu ya vifaa vya mchakato ili kuzuia plasma na kulinda kuta za chumba kutokana na mmomonyoko. Nyenzo hii hutoa upinzani bora wa plasma, nguvu ya juu ya dielectric (15×10⁶ V/m), na utulivu wa joto hadi 1600°C, kuhakikisha maisha marefu ya huduma katika mazingira ya plasma yenye florini kali. Uvumilivu sahihi wa vipimo (± 0.05 mm kwenye ID/OD) na ulalo (≤10 μm) huwezesha uwekaji thabiti wa ukingo wa wafer, kuboresha usawa wa uwekaji na kupunguza uzalishaji wa chembe.
Vipimo (kulingana na 99.8% Al₂O₃):
| Mali | Thamani |
| Nyenzo | 99.8% Alumina (Pembe za Ndovu) |
| Uzito | 3.93 g/cm³ |
| Kunyonya Maji | 0% |
| Nguvu ya Kunyumbulika | MPa 361 |
| Ugumu wa Kuvunjika | 3–4 MPa·m¹/² |
| Ugumu wa Vickers | 16 GPa |
| Moduli ya Young | 380 GPa |
| Uendeshaji wa joto | 32 W/m·k |
| Upanuzi wa Joto (25–1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Nguvu ya Dielektri | 15×10⁶ V/m |
| Upinzani Maalum | >10¹⁴ Ω·cm |
| Joto la Juu la Uendeshaji | 1600°C |
Maombi:
- · Pete za kulenga chumba cha CVD na pete za pembeni
- · Pete za ngao ya chumba cha PVD na pete za kubana
- · Vipande vya kung'oa na pete za kifuniko
- · Pete za kufungia plasma katika mifumo ya etch ya dielectric
Mchakato wa Uzalishaji:
Kubonyeza kwa isostatic → usindikaji wa kijani → kuchuja kwa joto la 1600°C → Kusaga kwa CNC ID/OD → kuzungusha uso → kusafisha kwa ultrasonic → ukaguzi wa 100% CMM. Umaliziaji laini wa uso (Ra ≤0.4 μm) hupunguza mshikamano wa chembe.
Udhibiti wa Ubora:
- · Ukaguzi wa vipimo 100% (Kitambulisho, OD, unene, ulaini)
- · Ukaguzi wa rangi kwa nyufa ndogo za uso
- · Kipimo cha nguvu ya dielektriki kwa kila ASTM D149
- · Hakuna mabadiliko ya rangi au vinyweleo vinavyoonekana chini ya darubini ya 20×
Faida zaidi ya Pete za Chuma au Quartz:
- · Muda mrefu zaidi wa maisha ni 5–10× kuliko pete za alumini katika plasma ya florini
- · Hakuna uchafuzi wa chuma katika filamu nyembamba
- · Upinzani mkubwa wa plasma kuliko quartz (hakuna mashimo ya mmomonyoko)
- · Hudumisha insulation ya umeme >10¹⁴ Ω·cm hata baada ya matumizi ya muda mrefu
Nyenzo Mbadala — Silikoni Nitridi (Si₃N₄):
Kwa matumizi yanayohitaji uthabiti wa juu zaidi wa kuvunjika (6.2 MPa·m¹/²) na upinzani bora wa mshtuko wa joto (mgawo wa upanuzi 3.2×10⁻⁶/℃), pete za Si₃N₄ zinapatikana. Hata hivyo, alumina ni nafuu zaidi kwa matumizi mengi ya CVD/PVD. Tafadhali taja upendeleo wa nyenzo unapoagiza.
Ubinafsishaji:
- · Matundu ya kupitishia, wasifu wa ngazi, au vibofu vya kukabili kwa ajili ya kupachika
- · Uso uliofunikwa na Y₂O₃ kwa ajili ya upinzani ulioimarishwa wa plasma (hiari)
- · Mchoro wa leza wa nambari ya sehemu / msimbo wa fungu
Kumbuka:Data iliyo hapo juu inafuata kwa makini jedwali la sifa la Al₂O₃ lililotolewa. Kwa pete za Si₃N₄, rejelea lahajedwali tofauti ya data ya Si₃N₄ iliyotolewa.
