Kichocheo cha Mwisho cha Kauri cha Silicon Carbide (SiC) – Ugumu wa Juu kwa Ushughulikiaji wa Kaki ya Joto la Juu
Kifaa cha mwisho cha kauri cha St.Cera's SiC kimetengenezwa kwa kabidi ya silikoni yenye usafi wa hali ya juu (kiwango cha SiC ni 99.72%, Si huru ni 0.05%) kwa kutumia nyenzo ya kundi la S1111. Kinatoa sifa za kipekee za kiufundi: nguvu ya kunyumbulika 449 MPa (iliyopimwa), moduli ya elastic 457 GPa (iliyopimwa), na ugumu wa Vickers 25–28 GPa (kawaida). Msongamano wa chini (3.10–3.15 g/cm³, kawaida) hutoa ugumu maalum wa hali ya juu, bora kwa roboti za uhamishaji wa wafer wa kasi ya juu. Kwa upitishaji joto wa 120–150 W/m·K (kawaida) na mgawo wa upanuzi wa joto wa 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ (kawaida), kifaa hiki cha mwisho huondoa joto kwa ufanisi na hudumisha uthabiti wa vipimo wakati wa utunzaji wa hali ya juu (hadi 1600–1700°C, hakuna mzigo). Rangi nyeusi/kijivu na unyonyaji sifuri wa maji huhakikisha utangamano wa chumba safi.
Vipimo(kulingana na ripoti ya majaribio ya SiC S1111 iliyotolewa na thamani za kawaida):
| Mali | Thamani |
| Nyenzo | SiC (99.72% SiC, 0.05% Si Bure) |
| Rangi | Nyeusi/Kijivu |
| Uzito | 3.10–3.15 g/cm³ |
| Kunyonya Maji | 0% |
| Nguvu ya Kunyumbulika | MPa 449 (wastani) |
| Ugumu wa Kuvunjika | 3.12 MPa·m¹/² (wastani) |
| Moduli ya Elastic | 457 GPa |
| Ugumu wa Vickers | 25–28 GPa |
| Upitishaji wa Joto (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4.0–4.5×10⁻⁶/℃ |
| Kiwango cha Juu cha Matumizi (hakuna mzigo) | 1600–1700°C |
Maombi:
● Ushughulikiaji wa wafer kwa joto la juu (baada ya kufungwa, RTP, epitaksi)
● Vyumba vya plazma vinavyohitaji upinzani mkubwa wa mmomonyoko
● Roboti za uhamisho wa kasi ya juu (nyepesi, ugumu wa hali ya juu)
Utengenezaji:
Kusaga unga wa SiC → usahihi wa kusaga wasifu wa mkono na vipengele vya kupachika kwa CNC → upigaji wa uso → kusafisha kwa ultrasonic. Ukaguzi wa vipimo 100% na jaribio la uvujaji wa heliamu kwa matumizi ya utupu.
Udhibiti wa Ubora:
● Ukaguzi wa urefu, upana, na ulalo wa CMM
● Kipimo cha nguvu ya kunyumbulika kwa kila kundi (kwa kila kiwango cha ripoti ya jaribio)
● Ukaguzi wa kuona chini ya darubini kwa kasoro za uso
Faida zaidi ya Alumina au Metali:
● moduli ya elastic ya juu ya 2× (457 dhidi ya ~380 GPa kwa alumina) – upungufu mdogo wa kupotoka
● Upitishaji joto wa juu wa 3× - uondoaji wa joto haraka zaidi
● Hustahimili >1600°C dhidi ya 800°C ya alumina hewani
● Uzito mdogo kuliko chuma - 40% ya kupunguza uzito
Ubinafsishaji:
Urefu 150–450 mm, maumbo ya ncha (mshikamano wa kingo, Bernoulli, tambarare), ruwaza za flange za kupachika kwa kila mchoro wa OEM.
*Data zote za kiufundi hapo juu zinatoka kwenye ripoti ya majaribio iliyotolewa (kundi S1111). Thamani za joto na ugumu ni za kawaida kwa daraja hili la SiC; tafadhali wasiliana nasi kwa uthibitisho maalum wa kura.*
