Kifaa cha Kumaliza Kauri cha Alumina cha Usafi wa Juu kwa Roboti za Kushughulikia Kaki

Kifaa cha mwisho cha alumina cha St.Cera kimetengenezwa kwa usahihi kutoka kwa Al₂O₃ ya usafi wa juu wa 99.8% kwa kutumia vifaa vya kusaga vya CNC vya mhimili 5 vya hali ya juu. Uwezo wetu wa utengenezaji ni pamoja na mashine za kusaga kwa usahihi na vituo vya uchakataji vya CNC, kuwezesha jiometri tata kwa usahihi wa hali ya juu. Kifaa cha mwisho kina wasifu mwembamba (mwembamba kama 1.5 mm) na ukingo wa mbele uliopunguzwa kwa ajili ya kuingiza wafer laini. Nyenzo hutoa ugumu wa hali ya juu (moduli ya Young 380 GPa), upinzani bora wa uchakavu, na utulivu wa joto hadi 800°C. Kila kitengo kimesagwa kwa usahihi ili kufikia ulalo wa 0.003mm, ulinganifu wa 0.002mm, na umaliziaji wa uso wa Ra0.1, kuhakikisha mguso thabiti wa wafer na uendeshaji usio na chembe katika mazingira ya semiconductor FAB. Inapatikana kwa urefu kutoka 150 mm hadi 450 mm, ikiwa na jiometri maalum za ncha (mshiko wa kingo, Bernoulli, bapa) na flange za kupachika ili kutoshea roboti za OEM. Chaguzi za umaliziaji wa uso ni pamoja na mipako iliyopinda, iliyosuguliwa, au ya ESD (10⁶–10⁹Ω/mraba).

Vipimo (kulingana na 99.8% Al₂O₃& Uwezo wa utengenezaji wa St.Cera):

Maombi:

• · Uhamisho wa kaki katika roboti za utupu na angahewa
• · Viathiri vya mwisho vya kiotomatiki vya FAB kwa wafers za 200mm/300mm
• · Ushughulikiaji mwembamba wa kafe (kwa chaguo la ESD)

Uwezo wa Utengenezaji:
Mashine zetu za kusaga kwa usahihi na vituo vya uchakataji vya CNC huwezesha uzalishaji wa vipengele tata vya kauri vyenye:

• · Urefu wa juu zaidi wa usindikaji: 1500mm
• · Kipenyo cha juu zaidi cha nje: 600mm
• · Kipenyo cha chini cha ndani: 0.2mm
• · Unene wa juu zaidi: 100mm

Udhibiti wa Ubora:
Unyoofu 0.005mm, mkao 0.005mm, mviringo 0.002mm, ulinganifu 0.002mm, msongamano 0.01mm umethibitishwa na CMM. Kila kitengo husafishwa kwa kutumia ultrasonic na chumba safi cha Darasa la 100 kimefungwa.