Kiini cha Kauri cha Alumina cha Usafi wa Juu kwa Vifaa vya Semiconductor
Kiini cha kauri cha alumina cha St.Cera kimeundwa kwa usahihi kutoka kwa 99.8% ya usafi wa juu wa Al₂O₃, kinachotoa nguvu ya kipekee ya dielektriki (15×10⁶ V/m2), uthabiti wa joto hadi 1600°C, na upinzani wa kutambaa chini ya mzigo. Viini hivi hutumika kama vipengele vya kimuundo katika vifaa vya mchakato wa halijoto ya juu, besi za hita, vifuniko vya chumba cha plasma, na vihami umeme. Ugumu wa juu wa nyenzo (16 GPa) na unyonyaji mdogo wa maji (0%) huhakikisha kuegemea kwa muda mrefu katika mazingira magumu.
Vipimo(kulingana na 99.8% Al₂O₃):
| Mali | Thamani |
| Nyenzo | 99.8% Alumina (Pembe za Ndovu) |
| Uzito | 3.93 g/cm³ |
| Nguvu ya Kunyumbulika | MPa 361 |
| Ugumu wa Kuvunjika | 3–4 MPa·m¹/² |
| Ugumu wa Vickers | 16 GPa |
| Moduli ya Young | 380 GPa |
| Uendeshaji wa joto | 32 W/m·k |
| Upanuzi wa Joto (25-1000°C) | 7.2×10⁻⁶/℃ |
| Nguvu ya Dielektri | 15×10⁶ V/m |
| Upinzani Maalum | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Halijoto ya Juu Zaidi ya Uendeshaji | 1600°C |
Maombi:
- · Kiini cha hita kwa ajili ya mitambo ya epitaxial
- · Mjengo wa chumba cha plasma na sahani za kifuniko
- · Vihami umeme vyenye volteji nyingi
- · Msingi wa vifaa vya roboti za kushughulikia wafer
Utengenezaji:
Kubonyeza kwa isostatic → usindikaji wa kijani → kuchuja kwa joto la 1600°C → Kusaga kwa CNC hadi vipimo vya mwisho (± 0.01 mm uvumilivu). Kila kiini hukaguliwa kwa kutumia CMM na ugunduzi wa dosari za ultrasonic.
Uhakikisho wa Ubora:
Imethibitishwa na ISO 9001:2015. Upimaji wa rangi ya kupenya kwa nyufa za uso; jaribio la nguvu ya dielektriki kwa kila ASTM D149.
Afaida zaidi ya kauri zingine:
- · Nguvu ya juu ya dielektriki kuliko zirconia (15 dhidi ya <10×10⁶ V/m)
- · Gharama ya chini kuliko SiC kwa matumizi yasiyo ya plasma
- · Upinzani bora wa kemikali kwa halojeni (isipokuwa HF)
Maumbo Maalum:
Silinda, baa za mraba, sahani, au jiometri changamano. Ukubwa wa chini wa vipengele ni 0.5 mm.
Wasiliana nasi kwa miundo maalum ya msingi na usaidizi wa simulizi ya joto.
